향상된 결함 추적을 위한 흔적 원소들을 갖는 반도체 제조 장치 및 제조 방법들

Semiconductor manufacturing equipment with trace ekements for improved defet tracing and methods of manufacture

Abstract

본 발명은 흔적 원소들을 포함하는 반도체 제조 장치와 그 제조 방법에 대한 것이다. 반도체 제조 장치는 적어도 하나의 구성요소가 합금으로 만들어진 하나 이상의 구성 요소들을 포함한다. 상기 합금은 하나 이상의 물질들 및 하나 이상의 희토류 원소들로 이루어다. 합금은 미리 정해진 양의 각각의 희토류 원소들을 포함한다. 구성 요소를 제조하는 방법은 적어도 하나의 물질과 하나 이상의 선택된 희토류 원소들로 이루어진 합금을 형성하는 방법과 그 합금으로 구성 요소를 만드는 방법을 포함한다.
The present invention relates to semiconductor manufacturing equipment comprising trace elements and method of manufacture. The semiconductor manufacturing equipment includes one or more components, wherein at least one component is made from an alloy comprising one or more materials and one or more rare earth elements (REEs). The alloy comprises predetermined quantities of the respective REEs. The method for manufacturing a component includes forming an alloy comprising at least one material and one or more selected rare earth elements (REEs) and making the component with the alloy.

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