Wafer Flat Zone Aligner

경사 정렬형 아이디 체크 보조기능이 구비된 웨이퍼 플랫존 얼라이너

  • Inventors: ROH, HAN U
  • Assignees: 노한우
  • Publication Date: June 16, 2014
  • Publication Number: KR-20140073170-A

Abstract

The present invention relates to a wafer flat zone aligner with an incline aligning ID check auxiliary function, which comprises: a cassette (10) which is detachably formed on a frame (1) and where bulkheads (11) are formed; a wafer rotating unit (20) with a rotating roller (21) which is installed in a longitudinal direction on the frame (1) in order to be in contact with the bottom of a wafer (W) to be rotated; a flat zone stop unit (30) which includes a stopper (31) in order to stop the rotation of the wafer when a wafer flat zone (Z) is sensed in an operating state (F1) for aligning the flat zone and which is released from the contact with the wafer in an idle state (F2) so that the wafer rotating unit (20) can rotate wafers in group at the same angular displacement; and an incline aligning unit (50) which elevates the wafers in parallel in a state of aligning the flat zone in order to have a height difference from one another so that a worker or a camera can visually check the top of the individual wafers.
본 발명은 경사 정렬형 아이디 체크 보조기능이 구비된 웨이퍼 플랫존 얼라이너에 관한 것으로, 프레임(1)에 탈착 가능하게 형성되고 격벽(11)들이 형성된 카세트(10)와; 상기 프레임(1)에 길이 방향으로 설치되어 웨이퍼(W)의 하단과 접촉하여 회전시키는 회전 롤러(21)가 구비된 웨이퍼 회전부(20)와; 스토퍼(31)를 구비하여 플랫존 정렬을 위한 작동 상태(F1)에서 웨이퍼 플랫존(Z)이 감지되면 웨이퍼의 회전을 정지시키고, 휴지 상태(F2)에서 웨이퍼와 접촉이 해제되어 상기 웨이퍼 회전부(20)가 웨이퍼들을 단체로 동일 각변위로 회전시키게 하는 플랫존 스톱부(30)와; 각 웨이퍼의 상측을 작업자 또는 카메라가 시각으로 확인할 수 있도록 플랫존이 정렬된 상태의 웨이퍼들을 서로 높이차를 갖도록 나란히 경사지게 상승시키는 경사 정렬부(50);을 포함하여 구성되는 경사 정렬형 아이디 체크 보조기능이 구비된 웨이퍼 플랫존 얼라이너에 관한 것이다.

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