Imprint device and manufacturing method of goods



PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an imprint device which is advantageous in preventing particles from adhering to a substrate.SOLUTION: An imprint device places a mold and an imprint material on a substrate in contact with each other to form a pattern on the substrate. The imprint device includes: a substrate stage having a holding surface which holds the substrate; a mold holding part which holds the mold; an exhaust part which includes a duct including a portion enclosing a side surface of the mold holding part and exhausts a gas existing around the mold holding part from a space between the portion and the side surface of the mold holding part; and a member which has a surface facing a surface of the substrate and is disposed between the portion and the holding surface so that particles, which move from the outer side of the duct as the gas is exhausted by the exhaust part, adhere thereto.
【課題】パーティクルが基板上に付着することを防止する上で有利なインプリント装置を提供する。 【解決手段】 モールドと基板上のインプリント材とを接触させることで前記基板上にパターンを形成するインプリント装置は、前記基板を保持する保持面を有する基板ステージと、前記モールドを保持するモールド保持部と、前記モールド保持部の側面を取り囲む部分を含むダクトを有し、前記モールド保持部の周辺における気体を前記部分と前記モールド保持部の側面との間から排出する排気部と、基板面と対向する面を有し、前記排気部による前記気体の排出に伴って前記ダクトの外側から移動してくるパーティクルが付着するように前記部分と前記保持面との間に配置された部材と、を含む。 【選択図】図1




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Patent Citations (5)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2006013401-AJanuary 12, 2006Canon Inc, キヤノン株式会社Micromachining apparatus
    JP-2006032957-AFebruary 02, 2006Asml Netherlands Bv, エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップLithography apparatus and manufacturing method of device
    JP-2011040736-AFebruary 24, 2011Asml Netherlands Bv, エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.Imprint lithography apparatus and method
    JP-2012504865-AFebruary 23, 2012モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッドインプリント・リソグラフィ・ツールのその場クリーニング
    JP-2013026474-AFebruary 04, 2013Canon Inc, キヤノン株式会社インプリントシステム及び物品の製造方法

NO-Patent Citations (0)


Cited By (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    WO-2016170729-A1October 27, 2016Canon Kabushiki KaishaAppareil et procédé d'impression et procédé de fabrication d'article