Coherent mixer, 2×2 multimode interferometer

コヒーレントミキサ、2×2マルチモード干渉器

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coherent mixer reducing a deviation between channels.SOLUTION: The coherent mixer has a multimode semiconductor waveguide. The multimode semiconductor waveguide includes: a first side face 13a that extends from a side face 19a of a first semiconductor region 19 extending along the first side face 13a of the multimode semiconductor waveguide, with an interval W1 of a reference value or less; and a second side face 13b that extends from a side face 21a of a second semiconductor region 21 extending along the second side face 13b of the multimode semiconductor waveguide, with an interval W2 of a reference value or less. Thus, a difference between the heights of the first side face 13a and the second side face 13b of the multimode semiconductor waveguide and the heights of first to m-th semiconductor waveguides (for example, semiconductor regions 15a, 15b, 15c, 15d) is reduced when the multimode semiconductor waveguide, a first group of semiconductor regions 15, the first semiconductor region 19, and the second semiconductor region 21 are processed by etching collectively, thereby reducing the deviation of the coherent mixer.
【課題】チャネル間の偏差を低減できるコヒーレントミキサを提供する。 【解決手段】マルチモード半導体導波路の第1側面13aが、マルチモード半導体導波路の第1側面13aに沿って延在する第1半導体領域19の側面19aから基準値以下の間隔W1で延在すると共に、マルチモード半導体導波路の第2側面13bが、マルチモード半導体導波路の第2側面13bに沿って延在する第2半導体領域21の側面21aから基準値以下の間隔W2で延在する。これ故に、マルチモード半導体導波路、第1群の半導体領域15、第1半導体領域19、及び第2半導体領域21が、エッチングにより一括して加工される際に、マルチモード半導体導波路の第1側面13a及び第2側面13bの高さと第1〜第m半導体導波路(例えば半導体領域15a、15b、15c、15d)の高さとの差を低減でき、コヒーレントミキサの偏差を低減できる。 【選択図】図2
【課題】チャネル間の偏差を低減できるコヒーレントミキサを提供する。【解決手段】マルチモード半導体導波路の第1側面13aが、マルチモード半導体導波路の第1側面13aに沿って延在する第1半導体領域19の側面19aから基準値以下の間隔W1で延在すると共に、マルチモード半導体導波路の第2側面13bが、マルチモード半導体導波路の第2側面13bに沿って延在する第2半導体領域21の側面21aから基準値以下の間隔W2で延在する。これ故に、マルチモード半導体導波路、第1群の半導体領域15、第1半導体領域19、及び第2半導体領域21が、エッチングにより一括して加工される際に、マルチモード半導体導波路の第1側面13a及び第2側面13bの高さと第1〜第m半導体導波路(例えば半導体領域15a、15b、15c、15d)の高さとの差を低減でき、コヒーレントミキサの偏差を低減できる。【選択図】図2

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