超音波アレイセンサーおよび超音波アレイセンサーの製造方法

Ultrasonic array sensor and manufacturing method of the same

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic array sensor which inhibits characteristic vibrations between multiple sensor elements and obtains desired yield, and to provide a manufacturing method of the ultrasonic array sensor.SOLUTION: In an ultrasonic array sensor having multiple sensor elements 2, each sensor element 2 has a recessed part 10 formed at an insulation film 22 and protection films located on the recessed part 10 and a bottom layer of a diaphragm 9. A lower electrode 28a, a piezoelectric body layer 29, and an upper electrode 30a are formed on the diaphragm 9. A cavity 12 is formed in the recessed part 10, and a hole 11 is formed in the cavity 12 so as to penetrate through the diaphragm 9.
【課題】複数のセンサー素子間での特性バラツキを抑制し、所望の歩留まりが得られる超音波アレイセンサーおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】複数のセンサー素子2を有する超音波アレイセンサーにおいて、センサー素子2は、第1絶縁膜22に凹部10が形成され、凹部10および振動板9の最下層には保護膜を有する。振動板9上には、下部電極28a、圧電体層29、上部電極30aが形成されている。凹部10には空洞12が形成され、空洞12には振動板9を貫くように孔部11が形成される。 【選択図】図3

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